Lumina Optical Detect System onto innovation

AT-1 Lumina Optical Detect System เป็นระบบตรวจสอบพื้นผิวด้วยเทคโนโลยี Optical Detection สำหรับการวิเคราะห์และตรวจสอบความผิดปกติของพื้นผิวในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไมโครนาโน รองรับการตรวจสอบ wafer, microstructure และวัสดุขั้นสูงด้วยความแม่นยำสูง