NANOPROFILER HIBRID (AFX-1000-3D)

Gambaran Keseluruhan Produk

Profil nano berskala silang NANOPRO(HYBRID) FILER AFM-1000-3D ialah mikroskop daya atom (AFM) berprestasi tinggi yang direka untuk pencirian permukaan dan metrologi yang tepat. Ia membolehkan penyelidik menyiasat dan menganalisis topografi, kekasaran dan ciri kritikal lain bagi pelbagai bahan pada tahap skala nano.

Maklumat Asas

XY julat pergerakan peringkat bermotor
(Leraian skala parut ialah 20 nm):300mm×300mm;

-Z julat pergerakan peringkat bermotor
(Resolusi pembaris parut 5 nm):30mm;
-Julat Pengimbas Probe: 100um×100um×15um;
- kawalan kedudukan gelung tertutup XY：1nm;
-Bunyi bunyi seluruh mesin (Z).:30 malam;
-Skala membujur dan ukuran kekasaran：3σ0.01nm;
-Ukuran skala melintang：3σ1nm(atau 1%Julat);
-Resolusi imej boleh mencapai 2048 × 2048.
Aplikasi Utama:

Ia boleh digunakan pada bentuk permukaan komponen mesin ketepatan, termasuk kanta optik, cermin dan bahagian kerja logam pelbagai saiz, serta untuk pengukuran kekasaran frekuensi pertengahan dan tinggi. Ia juga boleh digunakan untuk pengukuran ketepatan skala nano pelbagai bahan, termasuk wafer, bahan polimer, bahan dua dimensi, dsb.

Maklumat teknikal

Kepala pengukur ketepatan tinggi

-Julat pengimbas siasatan: 100um×100um×15um; · XY Kawalan kedudukan gelung tertutup hingar:1nm;
-Bunyi seluruh mesin (Z):30 malam;
-Bunyi penderiaan anjakan：40fm/Hz;
Ia mempunyai fungsi perlindungan berhenti kecemasan, yang boleh mencetuskan hentian kecemasan apabila siasatan secara tidak sengaja mengenai sampel dan keadaan berbahaya yang lain, untuk melindungi siasatan dan sampel.

Tiada teknologi pertukaran jarum pelarasan
Kedudukan mekanikal berketepatan tinggi digabungkan dengan teknologi sedutan magnetik untuk mencapai probe-laser

Penderia fotoelektrik dijajarkan secara automatik, tiada pelarasan laluan optik diperlukan.
Platform pengimbasan berskala silang (pilihan)

Pemacu motor linear;
Lejang meja imbasan: 20mm;
Kestabilan membujur: ±2nm; · Peleraian parut: 5nm;
Ketepatan kebolehulangan: 100nm。
Pengawal maklum balas FPGA berkelajuan tinggi

Ia mempunyai keupayaan input dan output isyarat analog berketepatan tinggi; Bekalan kuasa linear untuk bunyi yang sangat rendah;
Ia mempunyai 10 saluran pemerolehan data, analisis isyarat, paparan dan keupayaan storan;
Menyokong output voltan gelombang sinus, julat frekuensi meliputi DC-2MHz, langkah kenaikan frekuensi0.1Hz;
Antara muka IO digital menyokong kawalan ketepatan tinggi motor 5 paksi.

Contoh aplikasi

kekasaran

Pengukuran kekasaran dan corak skala utama 3D, pengukuran kekasaran ketepatan
(metrologi) 3sigma sehingga 10 malam; Resolusi membujur adalah lebih baik daripada 30 petang, dan resolusi melintang bergantung pada ketajaman jubah kekasaran kepingan pSi, dan resolusi melintang sistem lebih tinggi daripada 0.1nm.

Ketepatan dimensi

Pengukuran ketepatan dimensi: menyokong ukuran dimensi utama struktur parit nisbah aspek 5:1, termasuk CD, LER, LWR, menyokong XY kepada julat imbasan maksimum: 100um*100um, Julat ukuran arah Z: 0.1nm-15um。

Skala silang

Pengukuran ketepatan berterusan langkah dari 0.1 nm hingga 1mm, termasuk kekasaran dinding sisi, dan resolusi membujur sub-nanometer; Ciri ini menggunakan teknologi dan siasatan yang dipatenkan yang unik.