Micro-nano Characterization

Enklosur pelbagai guna dengan sistem pengasingan getaran aktif untuk instrumen makmal berketepatan tinggi dan aplikasi semikonduktor. Mengurangkan gangguan getaran dan memastikan persekitaran stabil untuk analisis mikro-nano.

Fully Automatic Pneumatic Nanoimprint System ialah mesin litografi nanoimprint automatik dengan kawalan tekanan pneumatik untuk penghasilan corak nano berketepatan tinggi. Sesuai untuk aplikasi semikonduktor, fotonik, MEMS dan pengeluaran industri mikro-nano.

Nashengcn menyediakan peralatan automasi dan sistem pencirian mikro-nano untuk pengeluaran semikonduktor, pemeriksaan wafer dan pengukuran ketepatan tinggi dalam industri pembuatan maju.

Sistem UV Ozone Cleaner PSD, PSDP dan Thermal Series direka untuk pembersihan dan pengaktifan permukaan wafer, kaca dan silikon dalam industri semikonduktor serta penyelidikan makmal.

SMU Customize Vibration Isolator direka untuk mengawal dan mengurangkan getaran pada peralatan SEM, AFM dan sistem pengukuran mikro-nano dalam industri semikonduktor dan makmal penyelidikan.

SOTOMD PRO Series menyediakan sistem pengasingan getaran pasif modular untuk SEM, AFM dan peralatan pengukuran mikro-nano dalam industri semikonduktor dan makmal penyelidikan berketepatan tinggi.

ARISMD PRO Series menyediakan sistem pengasingan getaran aktif modular dengan kawalan masa nyata untuk peralatan SEM, AFM dan sistem pengukuran mikro-nano dalam industri semikonduktor serta makmal penyelidikan berketepatan tinggi.

SOTOTT Series menawarkan sistem pengasingan getaran pasif bersaiz kompak untuk SEM, AFM dan peralatan pengukuran mikro-nano dalam makmal penyelidikan dan industri semikonduktor.

ARISTT Series menyediakan sistem pengasingan getaran aktif bersaiz kompak dengan kawalan masa nyata untuk SEM, AFM dan peralatan pengukuran mikro-nano dalam makmal serta cleanroom.

MINI-450F menawarkan kawalan getaran frekuensi rendah secara masa nyata dalam platform kompak 450mm. Sesuai untuk SEM, AFM, metrologi dan peralatan mikro-nano di makmal serta cleanroom.

MINI-560F menyediakan kawalan getaran frekuensi rendah secara masa nyata pada platform 560mm. Sesuai untuk SEM, AFM, metrologi dan peralatan mikro-nano dalam makmal serta persekitaran cleanroom.

Sistem pengasingan getaran aktif pneumatik dengan kabinet anti bunyi untuk kawalan getaran frekuensi rendah secara masa nyata serta pengurangan bunyi. Sesuai untuk SEM, AFM dan peralatan mikro-nano dalam cleanroom.