āļ āļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
āļāļąāļ§āđāļĨāļ·āļāļāļāļąāļāļāļąāļāļŦāļāļķāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāđāļēāļāļāļēāđāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ
āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļąāļāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļīāļŠāļĢāļ°āđāļĨāļ°āļĻāļđāļāļĒāđāļāļđāđāđāļāđ Park NX10 AFM āđāļāđāļāđāļāļĨāļāļāļāļĢāđāļĄāļāļĩāđāļāļļāđāļĄāļāđāļēāđāļāđāđāļāđāļāļēāļāđāļāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ āļāļķāđāļāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļ§āļāđāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĢāđāļāļĄāļāļ§āļēāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļŠāļđāļ āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāļāļĩāđāļāļāļāđāļāļāļĄāļēāđāļāļ·āđāļāļŠāļĢāđāļēāļāļ āļēāļāļāļĩāđāļāļĢāļēāļĻāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļāļīāļāđāļāļĩāđāļĒāļāđāļĨāļ°āļāļģāļāđāļģāđāļāđāđāļāļĒāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļĨāļēāļĒāļāļĩāđāļāđāļēāļĒāļāļāļ Park NX10 āļĢāļ§āļĄāļāļąāļāļāļāļāļāđāđāļ§āļĢāđ SmartScan āļāļĩāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļāļāđāļ§āļĒāļāļĨāļīāļāđāļāļĩāļĒāļ§āđāļĨāļ°āđāļŦāļĄāļāļāļąāđāļāļŠāļđāļāļāļĩāđāļāļąāđāļāđāļāļĢāđāļāļĢāļĄāđāļ§āđāļĨāđāļ§āļāļŦāļāđāļēāļāļģāđāļŦāđ Park AFMs āđāļāļāđāļāđāļ āļāđāļ§āļĒāļāļēāļĢāļĢāļ§āļĄāļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļāđāļāđāļāļāļĢāļēāļāļĩāđāļāđāļēāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļģāļŦāļāļāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļāļāļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļēāļāđāļāļāđāļē āđāļĄāđāđāļŦāļĨāđāļ āļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ āđāļĨāļ°āđāļāļīāļāļāļĨāđāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļāļŠāđāļāļĨ Park NX10 āļāļķāļāđāļāđāļāļāļąāļ§āđāļĨāļ·āļāļāļāļąāļāļāļąāļāļŦāļāļķāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļ§āļīāļāļĒāļēāļĻāļēāļŠāļāļĢāđāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāļĨāđāļģāļŠāļĄāļąāļĒ
āļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļ·āđāļāļāļēāļ
Park NX10: āļāļ§āļąāļāļāļĢāļĢāļĄāđāļāļ·āđāļāļāļ§āļąāļāļāļĢāļĢāļĄ
āļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāļāļĩāđāđāļĄāđāļĄāļĩāđāļāļĢāđāļāļĩāļĒāļāđāļāđ, Zero Crosstalk
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļŠāđāļāļāļĢāļ XYZ āļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ: āļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ flexure āļāļĩāđāļāļģāļāļēāļāļāđāļ§āļĒāļāļīāļŠāļĢāļ°āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļĨāļ°āļāļĨāļēāļĒ
āļāļēāļĢāļāļĢāļīāļāļāđāļāļāļāļĢāļ°āļāļēāļāļāđāļāļĒāļāļĩāđāļŠāļļāļ: āļāļēāļĢāļāļĢāļīāļāļāđāļĢāļ°āļāļēāļāļāđāļāļĒāļāļ§āđāļē 1 āļāļēāđāļāđāļĄāļāļĢāđāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāđāļāļ§āļāļāļāđāļāđāļĄāļāđāļ§āļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļŠāđāļāļāļĢāļāļāļāļāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ§āļāļąāđāļāļāļĩāļāļ§āđāļē 0.015% āđāļāļāđāļ§āļāđāļāđāļĄ: āļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļāļāļāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ§āļāļāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄ: āļāļąāļĨāļāļāļĢāļīāļāļķāļĄāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāđāļāļ sine āđāļāļāđāļēāļāļŦāļāđāļēāļāļēāļāļ§āļīāļāļĒāļēāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ
āļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ, āđāļŦāļĄāļ True Non-Contact
āļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ§āļāļąāđāļāļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļāļāļāđāļ§āļīāļāļāđāļĄāļēāļāļāļ§āđāļē 9kHz āļāļģāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāđāļĢāđāļ§āļāļēāļĢāļāļāļāļŠāļāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļ§āđāļāļ§āļāļąāđāļāļāļāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāļīāļ 62 āļĄāļĄ./āļ§āļīāļāļēāļāļĩ āļāļ§āļēāļĄāđāļĢāđāļ§āđāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāļĩāđāđāļĢāđāļ§āļāļĩāđāļŠāļļāļāđāļāđāļŦāļĄāļ non-contact āļāļēāļĢāļŠāļķāļāļŦāļĢāļāļāļāļāļāļĨāļēāļĒāļāđāļāļĒāļāļĩāđāļŠāļļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāļļāļāļ āļēāļāļŠāļđāļāđāļāļĢāļ°āļĒāļ°āļĒāļēāļ§ āļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒāļāļāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāđāļāļĒāļāļĩāđāļŠāļļāļ āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ, āđāļāđāļāļāļĢāļēāļāļĩāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĢāļīāļ
āđāļāđāļāļąāļ§āļāļĢāļ§āļāļāļąāļ hysteresis āļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģāļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļāđāļāļāļĢāļēāļāļĩāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ āļāļ§āļēāļĄāđāļāļĩāđāļĒāļāđāļāļāļāļāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļāļāđāļēāļāļŦāļāđāļē-āļĒāđāļāļāļāļĨāļąāļāļāđāļāļĒāļāļĩāđāļŠāļļāļāļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ āļāđāļāļĒāļāļ§āđāļē 0.15% āļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄāļāđāļ§āļĒāļĨāļāļāļēāļĢāļāļĢāļīāļāļāđāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļĨāđāļēāļāđāļēāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļāļāļĢāļ°āļāļāļāļĒāđāļēāļāļĄāļĩāļāļąāļĒāļŠāļģāļāļąāļ āļāļĨāđāļāļāļŦāļļāđāļĄāļāļ°āļāļđāļŠāļāļīāļāļāļąāđāļāļŠāļđāļāļāļĩāđāļāļĢāļāļāļĨāļąāļāļāļĢāđāļāļĄāļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāļ āļēāļĒāđāļāļŦāđāļāļ āļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāļāļāļāļāļđāđāđāļāđ
āļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļāđāļāļīāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļĨāļēāļĒāđāļĨāļ°āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļāđāļāđāļēāļĒ āļāļąāļ§āļĒāļķāļāļāļĨāļēāļĒāļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļ§āđāļ§āđāļĨāđāļ§āļāļŦāļāđāļēāđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļĢāļąāļāđāļĨāđāļāļāļĢāđāļ§āļąāļāļāļĩāđāđāļĢāļĩāļĒāļāļāđāļēāļĒāđāļĨāļ°āđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļĒāļāļĢāđāļāļĄāļĢāļ°āļāļāļ āļēāļāļāđāļēāļāļāļāļāļĩāđāļāļāļŠāļīāļāļāļīāļāļąāļāļĢ āļāļąāļāļāđāļāļąāļ "10-second tip approach" āļāļĩāđāđāļāđāļāļāļ§āļąāļāļāļĢāļĢāļĄāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāđāļāđāļēāđāļāļĨāđāļāļĨāļēāļĒāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļēāļĄāđāļĢāđāļ§āļŠāļđāļāļāļąāļāđāļāļĄāļąāļāļī āļāļĨāđāļāļāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļīāļāļīāļāļąāļĨ 24 āļāļīāļ āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļĒāļēāļĒāļŠāļąāļāļāļēāļ lock-in āđāļāļāļąāļ§āļŠāļēāļĄāļāļļāļ āļāļĢāđāļāļĄāļāļąāļāļāđāļāļąāļ Q-control āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāļāļāđāļāļĩāļĒāļāļāđāļēāļāļāļāļĩāđāļŠāļāļĢāļīāļ
āļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļŦāļĨāļąāļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāļāļĩāđāđāļĄāđāļĄāļĩāđāļāļĢāđāļāļĩāļĒāļāđāļāđāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļŠāļđāļāļāļĢāđāļāļĄāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģāļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ
āļāđāļ§āļāđāļŦāļĄāļ AFM āļāļĩāđāļāļĢāļāļāļāļĨāļļāļĄāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ
āļāļēāļĢāđāļāđāļēāļāļķāļāđāļāļāđāļāļīāļāļāļĩāđāļĒāļ·āļāļŦāļĒāļļāđāļ āļāļĢāļąāļāđāļāđāļāđāļāđāđāļāļ·āđāļāļĢāđāļ§āļĄāļĄāļ·āļāļāļąāļāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ
āļŠāļĢāđāļēāļāļāļķāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāđāļāļāđāļē