āļ āļēāļāļĢāļ§āļĄāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
Park NX7 āđāļāđāļ AFM āļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļĩāđāļāļļāđāļĄāļāđāļē āļāļĢāđāļāļĄāļāļ§āļēāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāļāļĢāļąāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāđ āļāļĢāļ°āļāļāļāļāđāļ§āļĒāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩāļĨāđāļģāļŠāļĄāļąāļĒāļāļāļ Park Systems āđāļāļĢāļēāļāļēāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄāļāļąāļāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļēāļāļāļāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļāđāļēāļāđ NX7 āļĄāļĩāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ XY āļāļĩāđāļĨāđāļģāļŠāļĄāļąāļĒ āļāļķāđāļāļāļģāđāļāđāļāđāļēāļāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ flexure āđāļāļ closed-loop āļāļīāļŠāļĢāļ° āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļĄāļąāđāļāđāļāđāļāđāļāļķāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāļĩāđāđāļāļāļĢāļēāļāđāļĨāļ°āđāļāđāļāđāļāļ§āļāļēāļ āļāļĢāđāļāļĄāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāļŠāļđāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ āđāļāļĒāđāļĄāđāļāļģāđāļāđāļāļāđāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļāļāļāđāđāļ§āļĢāđāđāļāļīāđāļĄāđāļāļīāļĄ
āļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļ·āđāļāļāļēāļ
āđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļāļēāļāđāļĨāđāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļāđāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļ AFM āļĢāļāļ
Park NX7 āļĄāļĩāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩāļĨāđāļģāļŠāļĄāļąāļĒāļāļąāđāļāļŦāļĄāļāļāļĩāđāļāļļāļāļāļēāļāļŦāļ§āļąāļāļāļēāļ Park Systems āđāļāļĢāļēāļāļēāļāļĩāđāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāđāļēāļĒāđāļāđ āļāļāļāđāļāļāđāļāļĒāđāļŠāđāđāļāđāļāļĢāļēāļĒāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļāđāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāļĢāļļāđāļāļāļĩāđāļĨāđāļģāļŦāļāđāļēāļāļ§āđāļēāļāļāļāđāļĢāļē NX7 āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļļāļāļāļģāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāđāļāđāļāļĢāļāđāļ§āļĨāļēāđāļĨāļ°āļāļĒāļđāđāđāļāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļēāļ
āļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļŦāļĨāļąāļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāļāļĩāđāđāļĄāđāļĄāļĩāđāļāļĢāđāļāļĩāļĒāļāđāļāđāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļŠāļđāļāļāļĢāđāļāļĄāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģāļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ
āļāđāļ§āļāđāļŦāļĄāļ AFM āļāļĩāđāļāļĢāļāļāļāļĨāļļāļĄāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ
āļāļēāļĢāđāļāđāļēāļāļķāļāđāļāļāđāļāļīāļāļāļĩāđāļĒāļ·āļāļŦāļĒāļļāđāļ āļāļĢāļąāļāđāļāđāļāđāļāđāđāļāļ·āđāļāļĢāđāļ§āļĄāļĄāļ·āļāļāļąāļāļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ
āđāļŪāđāļĨāļāđāļāļāļāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđ
Park NX7 āļāļķāđāļāļāļīāļāļāļąāđāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ Park Atomic Force Microscopy āļāļĩāđāļĨāđāļģāļŠāļĄāļąāļĒ āđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļāđāļāļĒāđāļŠāđāđāļāđāļāļĢāļēāļĒāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļāđāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļĢāļļāđāļāđāļŦāļĄāđāļĨāđāļēāļŠāļļāļāļāļāļāđāļĢāļē āđāļŦāđāļāļĨāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāļāđāļēāļĒāļāļēāļĒ āđāļāļĢāļēāļāļēāļāļĩāđāđāļāļ·āđāļāļĄāļāļķāļāđāļāđ āļāļķāļāđāļāđāļāļāļąāļ§āđāļĨāļ·āļāļāļāļĩāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāđāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļēāļāļāļāļāļāļļāļ
āļāļēāļĢāļŠāđāļāļ XY āļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ: āļāļāļąāļ crosstalk āļāļāļāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ·āđāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ XY āļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ
āļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđ XY āđāļĨāļ° Z Flexure āđāļāļ Closed-Loop āļāļīāļŠāļĢāļ°: āļĄāļąāđāļāđāļāđāļāđāļāļķāļāļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāļŠāļđāļa
āļāļēāļĢāļŠāđāļāļ XY āđāļāļ Orthogonal: āđāļŦāđāļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļāđāļāļāļĢāļēāļāļĩāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļāļĒāđāļĄāđāļāđāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļāļāļāđāđāļ§āļĢāđ
āđāļāļĨāļđāļāļąāļ AFM āļāļĩāđāļāļĢāļāļāļāļĨāļļāļĄāļāļĩāđāļŠāļļāļ: āļāļĢāļāļāļāļĨāļļāļĄāđāļŦāļĄāļāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāđāļāļāļŠāđāļāļāļāļąāđāļāļŦāļĄāļ
āļāļāļāđāļāļĢāļĨāđāļĨāļāļĢāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ Smarter NX: āđāļāļīāļāđāļāđāļāļēāļāđāļŦāļĄāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļēāđāļāđāļāļīāļāļāļĨāļāļąāđāļāļŠāļđāļāđāļāļĒāļāđāļēāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļēāļāļąāļāđāļāđāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļāļĢāļāļāļĩāđāļāļĩāļāļĩāđāļŠāļļāļāđāļāļĢāļ°āļāļąāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļ: āļāļģāđāļŠāļāļāļāļąāļ§āđāļĨāļ·āļāļāļāļĩāđāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ
āļāļāļāļāđāđāļ§āļĢāđāđāļĨāļ°āļŪāļēāļĢāđāļāđāļ§āļĢāđāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāļāđāļēāļĒ: āļāļāļāđāļāļāļĄāļēāđāļāļ·āđāļāļāđāļēāļĒāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ
āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ: āļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāđāļāļāļĢāļēāļ! āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāļāļāļāđāļēāļāļāđāļģ
āđāļĄāđāļāļģāđāļāđāļāļāđāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļāļāļāđāđāļ§āļĢāđ: āđāļāđāļĢāļąāļāļāļĨāļāļēāļĢāļŠāđāļāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļāļĒāđāļĄāđāļāļģāļāļķāļāļāļķāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļēāļĢāļŠāđāļāļ
āļāļāļāđāļāļĢāļĨāđāļĨāļāļĢāđ NX Electronics āļĨāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļāļāļĢāļ°āļāļēāļāđāļŦāđāļāđāļāļĒāļāļ§āđāļē 2 āļāļēāđāļāđāļĄāļāļĢ
āļāļąāļ§āļāļĢāļ§āļāļāļąāļ Z āļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļģāļāļąāđāļāļāļģāļāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ: āļĢāļ°āļāļąāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļ§āļāļāđāļāļĒāļāļ§āđāļē 0.2 āļāļēāđāļāđāļĄāļāļĢāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļāđāļāđāļāļāļĢāļēāļāļĩāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āđāļāđāļāļāļāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāļāļāđāļāļĩāļĒāļ
āļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļŦāļĨāļąāļ
āļāļļāļāđāļāđāļāļŦāļĨāļąāļāļāļāļ Park āļāļĒāļđāđāļāļĩāđāļŠāļāļēāļāļąāļāļĒāļāļĢāļĢāļĄāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļ§āļąāļāļāļĢāļĢāļĄ āļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļ flexure āļāļĩāđāđāļāđāļāđāļāļāļĨāļąāļāļĐāļāđ āļāļķāđāļāđāļāđāļŠāđāļāļāđāļāļāļĢāđ XY āđāļĨāļ° Z āļāļīāļŠāļĢāļ° āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļļāļāđāļāđāļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļ§āļēāļĄāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļāđāļĄāļāļĢāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāļŠāļđāļāļāļĒāđāļēāļāļāđāļēāļĒāļāļēāļĒ